冷柜內(nèi)膽氦測(cè)漏系統(tǒng)產(chǎn)品介紹「科儀創(chuàng)新真空」
2021-06-18
氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)
隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國(guó)的設(shè)備廠商相繼推出了多種類(lèi)烈的氦質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車(chē)等各個(gè)行業(yè)，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展，這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也極大的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。2、135o電離偏轉(zhuǎn)(自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。真空法氦質(zhì)譜檢漏采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品。
機(jī)械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀。
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氦質(zhì)譜檢漏常見(jiàn)問(wèn)題
氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器，那么在使用過(guò)程中我們又遇到哪些問(wèn)題呢？今天科儀的小編就和大家來(lái)一起總結(jié)一下！
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低
（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度
（3）無(wú)毒，可以用在食品工業(yè)
（4）在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
（5）比空氣輕，運(yùn)動(dòng)速度快
（6）氣體分子很小，可以穿過(guò)微小的泄漏孔
（7）其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項(xiàng)。
（1）被測(cè)系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥，無(wú)油
（2）如果測(cè)量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對(duì)檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)
（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應(yīng)注意方向
（4）盡量不要使用密封脂（油脂會(huì)大量吸附氦氣）
（5）不要向環(huán)境釋放大量氦氣
（6）真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào)，相對(duì)緩慢下降的信號(hào)
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注：采用國(guó)際單位制時(shí)，漏率單位為：Pa?m3/s。
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什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀可靠的品質(zhì)保證廣泛的市場(chǎng)應(yīng)用，此款氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅(jiān)固耐用，抗震性能極強(qiáng)，可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn)：前級(jí)泵配備抽速高達(dá)15 m3/h 旋片泵，對(duì)氦氣抽速可達(dá) 2.5l/s，氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的蕞小檢測(cè)漏率：
真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s
吸槍的模式：5 · 10-10 Pa m3/s
以上內(nèi)容由科儀為您提供，今天我們來(lái)分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的相關(guān)內(nèi)容，希望對(duì)您有所幫助！
真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點(diǎn)
1、高壓氮?dú)鈴?qiáng)度檢測(cè)真空箱內(nèi)進(jìn)行，保護(hù)操作者安全
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、。
3、檢漏儀的自動(dòng)校準(zhǔn)功能以及自動(dòng)校準(zhǔn)程序，可隨時(shí)校準(zhǔn)檢漏儀的靈敏度、準(zhǔn)確度。
4、特殊設(shè)計(jì)的檢測(cè)程序判斷出具體的有漏工件，并通過(guò)燈光和液晶操作屏顯示出來(lái)。
5、技術(shù)的密封接頭，減少誤判。
6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。
7、PLC控制，使系統(tǒng)運(yùn)行清晰明了，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)及控制。
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